Bpure Series 立式/卧式管舟清洗机
Bpure Series Vertical/Horizontal Tube/Boat Cleaning System
- 设备特点
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- 全自动清洗，浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
- 一机多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
- 自主研发控制系统，友好的人机交互界面
- 自动配液系统，换酸便捷
- 分级安全互锁设置，确保设备安全可靠
- 产品应用
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- 晶圆尺寸8、12 英寸
- 适用材料石英、碳化硅
- 适用工艺石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
- 适用领域集成电路、功率半导体、化合物半导体、科研领域
