GAMA Series 6/8英寸全自动槽式清洗机
GAMA Series 6/8 Inch Fully Automated Batch Cleaning System
- 设备特点
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- 结构设计紧凑，占地面积小
- 模块化设计，配置灵活、可扩展
- 成熟的工艺槽设计，确保工艺稳定性
- 精确的化学称量系统，实现高质量工艺
- 产品应用
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- 晶圆尺寸6、8 英寸
- 适用材料硅，碳化硅，硅基氮化镓
- 适用工艺预清洗、去胶清洗、氮化硅去除、金属去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、抛光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗
- 适用领域集成电路、衬底材料、化合物半导体、功率半导体
