半导体装备 Semiconductor

Hesper E230A

12英寸单片常压硅外延系统

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Hesper E230A 12英寸单片常压硅外延系统
Hesper E230A 12 Inch Single Wafer Atmospheric Pressure Silicon Epitaxy System
Hesper E230A适用于12英寸N/P硅外延生长，产品自主研发了多路多区进气导流结构、多区红外加热温控系统，具备高洁净腔室控制技术、膜厚均匀性控制技术、电阻率均匀性控制技术，产品各项指标均达到先进水平。
设备特点
  • 专业的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能
  • 高效传输设计可提高产能
  • 单、双、四腔兼容设计，可满足不同客户需求
产品应用
  • 晶圆尺寸
    12英寸
  • 沉积材料
    硅
  • 适用工艺
    N&P常压硅外延
  • 适用领域
    功率半导体、衬底材料、科研领域
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