CVI330 化学气相沉积炉
CVI330 Chemical vapor deposition furnace
- 设备特点
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- 多区控温,更优温度均匀性,可拓宽客户工艺需求
- 模块化保温设计,具有较低的保温功率,降低能耗,助于发展低碳经济
- 通过模拟分析,设计合理的碳源分配系统,可满足客户多种产品工艺要求
- 自动内外室压差控制系统,提升设备可靠性,延长热区使用寿命
- 更优的快冷系统设计,冷却效率更高,提高生产效率
- 多级冷凝和过滤装置,提高设备稳定性
- 技术指标
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- 温度范围≤1160℃
- 有效区Φ3300×3800mm
- 温度均匀性≤±10℃
- 分压1000~10000Pa
- 压升率50Pa/h
- 连续运行时间≥350h