主要用于集成电路领域12英寸前段清洗工艺，采用堆叠式架构及多片式传输系统，配备Nano Spray二相流颗粒去除模块和Nano-E低表面能脉冲微纳去除技术，可搭配热异丙醇(IPA)干燥技术、DZH（动态加热异丙醇）干燥技术，支持高深宽比结构的工艺需求
