本产品主要应用于12英寸集成电路（IC）领域高温氧化/退火工艺拥有超宽温度区间（200℃-1200℃）。该机台为立式单腔large batch炉管系统，工艺处理过程实现了高度自动化。系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部分组成。
