Polaris Ascella系列CVD/ALD金属薄膜沉积设备可用于沉积金属钛与氮化钛，系统主要由大气平台、真空传输平台、工艺腔室组成，采用8K平台，最多可配置6个工艺腔室，可根据客户需求灵活配置腔室数量。
