化学气相沉积系统 - 产品管理 - 北方华创

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Surefill系列

化学气相沉积系统

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Surefill系列化学气相沉积系统

Surefill Series CVD System

Surefill系列CVD金属薄膜沉积设备可具备12英寸和8英寸能力，系统主要由大气平台、真空传输平台、工艺腔室组成，采用8K平台，最多可配置6个工艺腔室，可根据客户需求，灵活配置腔室数量。

设备特点

产品应用

晶圆尺寸
12 英寸、8英寸
适用材料
钨

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