eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由大气平台，真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，其中工艺腔室可根据客户选择配置不同工艺材料的腔室。eVictor系列PVD设备具有反应腔自动开闭盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。