ELEDE 380系列LED刻蚀机主要用于LED衬底/芯片干法刻蚀。该设备使用先进的等离子体发生装置，适用于Mini LED、Micro LED制程多种材料刻蚀，覆盖图形化衬底及蓝绿、红黄芯片刻蚀工艺。设备采用双腔全自动平台、多片式托盘设计、独特工艺套件设计，同时实现高产能和更低的CoC，为LED干法刻蚀提供最优性价比的解决方案。