半导体装备 Semiconductor

Sirius MC313

离子注入机

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Sirius MC313 离子注入机
Sirius MC313 Implanter
Sirius MC313 离子注入机主要用于12英寸Si IC领域的掺杂工艺。该机台为单腔室单片式离子注入机，主要由高压仓模块，光路模块，靶室模块和附属设备等组成。
设备特点
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