ProMaxy PSC系列为垂直单片式碳化硅外延设备，兼容6/8英寸SiC晶圆，采用垂直气流 + 高速旋转单片架构，依托分区独立感应加热、高精度光纤红外测温系统，全域温场、流场均匀可控，整机工艺窗口宽泛、长期运行稳定性强，外延片厚度、掺杂、组分一致性优异，缺陷密度控制水平突出；设备天然适配超厚膜长时生长，拥有超长预防性维护（PM）周期，运维成本更低，提供两腔、四腔两种配置布局。