Satur系列 MOCVD气相外延设备，采用金属有机化合物源输运方案，适用于氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体外延生产。 设备全系自主研发，优化流场与温场设计，均匀性控制能力突出。经客户端量产工艺实测验证，整机性能与外延工艺水平达到国内领先，国际先进水平，助力化合物半导体产线自主化落地。
