Satur系列是一款6/8英寸兼容的多片式碳化硅外延设备，采用水平温壁技术路线与感应加热方式，具备单位面积产能大、自动化程度高、工艺稳定、一致性好等突出优势。设备对石墨腔室进行感应加热，配合光纤式红外高温计精确测温，实现温度场的稳定升降与精准控制，工艺窗口宽阔、兼容性良好。外延层在厚度均匀性、掺杂浓度均匀性、组分均匀性及缺陷密度等方面均表现优异。设备维护方便，能够充分满足量产对高重复性和高良率的要求。