MARS系列是面向碳化硅外延工艺的专用设备，覆盖单腔、双腔两大产品形态，全面适配6/8英寸碳化硅晶圆量产需求，全系采用水平热壁式技术路线，结合先进的控温、控压算法，以及独创的进气与混流结构，使工艺过程中的热场和气流场保持均匀稳定，厚度均匀性、掺杂均匀性、缺陷密度等关键工艺指标均达到行业先进水平，可适配N&P碳化硅外延、沟槽填充以及厚膜工艺等多种工艺需求。