SiC感应炉 - 产品管理 - 北方华创

首页产品&服务真空新能源装备晶体生长设备 SiC感应炉

真空新能源装备 Vacuum Tech

APS 200G/440G/560G

SiC感应炉

联系咨询

APS 200G/440G/560G SiC感应炉

APS 200G/440G/560G SiC Induction Furnace

适用于6、8、12英寸，导电、高纯半绝缘型 SiC 晶体生长

设备特点

技术指标

最高工作温度
2400℃
极限真空
5.0x10⁻⁴Pa
线圈升降
低至50μm/h(线性匀速)
晶圆尺寸
6、8、12英寸
生长腔室
高纯石英管
适用工艺
物理气相输运法(PVT)
适用材料
碳化硅、氮化铝

分享我们：

: 官方公众号