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真空新能源装备 Vacuum Tech
AGF 200G
SiC电阻炉
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公司名称：
AGF 200G SiC电阻炉
AGF 200G SiC Resistance Fumace
适用于8、12英寸，导电、高纯半绝缘型 SiC 晶体生长
设备特点
3组加热器独立控制，灵活的温场调节机能力
坩埚系统具备升降、旋转功能，温场更均匀
上装载，上维护，操作便捷
技术指标
最高工作温度
2400℃
极限真空
5.0x10⁻⁴Pa
线圈升降
低至10μm/h(线性匀速)
晶圆尺寸
8、12英寸
生长腔室
316不锈钢
适用工艺
物理气相输运法(PVT)
适用材料
碳化硅
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