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金刚石长晶炉
真空新能源装备 Vacuum Tech
Cronus 1001
金刚石长晶炉
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公司名称：
Cronus 1001 金刚石长晶炉
Cronus 1001 Diamond Crystal Growth Furnace
适用于2英寸以下单晶、4、6、8英寸多晶金刚石晶体生长
设备特点
多样、丰富的气路设计，可确保高质量晶体生长
生长基平台具备升降、旋转功能，温场更均匀
智能运行、监控系统，适于长时间晶体生长
技术指标
工作温度范围
700-900℃
极限真空
5.0x10⁻⁴Pa
晶圆尺寸
4、6英寸
生长腔室
316不锈钢（蝶形）
适用工艺
微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)
适用材料
金刚石
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