首页
关于华创
新闻&活动
产品&服务
加入我们
投资者关系
切换语言
关于华创
了解华创
品牌释义
企业文化
行业地位
企业荣誉
社会责任
合规声明
新闻&活动
企业新闻
展会活动
产品&服务
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
服务网络
加入我们
人才理念
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
人在NAURA
投资者关系
了解华创
品牌释义
企业文化
行业地位
企业荣誉
社会责任
合规声明
企业新闻
展会活动
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
服务网络
产品系列
等离子刻蚀设备 Etch
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
湿法设备 WET
键合设备 Bonder
立式炉管设备 Vertical Furnace
离子注入设备 Implant
快速热处理设备 RTP
外延设备 EPI
应用领域
集成电路 IC
先进封装 Advanced Packaging
化合物半导体 Compound Semiconductor
新兴应用与科研领域设备 Emerging Applications and R&D
客户服务 Services
备品备件 Parts
产品系列
晶体生长设备 Crystal Growth Equipment
炉管设备 Tube Furnace
真空及气氛烧结装备 Vacuum & Atmosphere Sintering Equipment
真空及气氛焊接装备 Vacuum & Atmosphere Welding Equipment
真空及气氛热处理装备 Vacuum & Atmosphere Heat Treatment Equipment
工业薄膜沉积装备 Industrial Thin Film Deposition Equipment
板级封装装备 Panel-Level Packaging Equipment
平板显示装备 Flat Panel Display Equipment
应用领域
光伏 Photovoltaics (PV) Industry
锂电 Li-ion Battery
半导体 Semiconductor
真空电子 Vacuum Electronics
三航两机 Aerospace, Aviation, Marine, Aero-engine and Gas turbine
石墨碳材 Graphite and Carbon Materials
磁性材料 Magnetic Materials
光学镀膜 Optical Coating
功能涂层 Functional Coating
板级封装 Panel-level Packaging
显示 Display
产品系列
外壳 Packages
电阻器 Resistors
电容器 Capacitors
磁心 Magnetic Cores
电感器 Inductors
晶体谐振器 Crystal Resonators
晶体振荡器 Crystal Oscillators
传感器 Sensors
光电子器件 Optoelectronic Devices
微波器件 Microwave Devices
微波组件 Microwave Modules
模块电源 Power Modules
模拟芯片 Analog ICs
数字芯片 Digital ICs
电源芯片 Power IC
人才理念
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
人在NAURA
加入我们
人才理念
人在NAURA
半导体装备
社会招聘
校园招聘
海外招聘
内部推荐
真空新能源装备
社会招聘
校园招聘
内部推荐
精密元件器装备
社会招聘
校园招聘
加入我们
人才理念
人在NAURA
搜索
简体中文
English
首页
产品&服务
真空新能源装备
炉管设备
管式PECVD设备
真空新能源装备 Vacuum Tech
HORIS P12
管式PECVD设备
联系咨询
公司名称：
HORIS P12 管式PECVD设备
HORIS P12 PECVD System
适用于光伏电池生产，兼容TOPCon、TBC、HTBC等各种工艺路线，应用在氮化硅、氧化硅、多晶硅等工艺
设备特点
超长温区高精度多点控温系统，可实现石墨舟快速升降温
独特的内循环冷却系统，高效冷却，节能降耗
第三代电极技术，热态在线更换，减少维护时间
石墨舟管理系统、智能镀膜工艺调整，实现便捷智能化监控和调试
技术指标
最高温度650℃
控温精度
±1℃
碎片率
≤0.01%
压升率
≤1Pa/min
适用工艺
氮化硅、氧化硅、氧化铝、二合一、POLY、掺杂、退火等
适用材料
光伏晶硅电池片
分享我们：
微信扫一扫
联系我们
官方公众号
