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真空新能源装备 Vacuum Tech
HOITY GS系列
反应烧结炉
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公司名称:
HOITY GS系列 反应烧结炉
HOITY GS Series Reaction Sintering Furnace
反应烧结炉产品采用稳定温区与发热负荷设计, 设备洁净化设计和选材, 有效防护硅污染与便捷保养检修设计, 覆盖半导体氧化扩散炉, LPCVD 和退火炉用碳化硅炉管。
设备特点
多分区的控温架构和流场设计, 实现热场的精准控制, 有效保证产品烧结密度、 晶粒尺寸的一致性和均匀性
硅污染防护结构设计与硅蒸气行走管道的维护与保养设计, 有效保证温区关键组成的寿命与工艺过程的稳定性
拥有多项加热安全技术和保温技术, 具有持续稳定加热能力及隔热保障
具有全流程自动化控制系统, 依据实时情况记录, 保障工艺流程控制精准无误
技术指标
最高温度1900℃,极限真空5Pa,温度均匀性±5℃,压升率2Pa/h
适用工艺
半导体氧化、半导体氧化、退火设备用碳化硅炉管、碳化硅陶瓷悬臂桨、悬臂梁、悬臂杆、 舟托、 晶舟等结构件的反应烧结工艺设备用碳化硅炉管、 碳化硅陶瓷悬臂桨、悬臂梁、 悬臂杆、 舟托、 晶舟等结构件的反应烧结工艺
适用材料
碳化硅
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