石英脱羟炉 - 产品管理 - 北方华创

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HOITY VH系列

石英脱羟炉

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HOITY VH系列石英脱羟炉

HOITY VH Series Dehydroxylation Furnace

适用于半导体、光学、光通讯、航空航天、复合材料领域，可满足石英产品的低羟需求。我司的开发的大尺寸石英脱羟炉，可满足高真空工艺需求，炉门推拉式上料，多温区均匀控制技术。

技术指标

最高用温度
1300℃
温度均匀性
±5℃
冷态真空度
1×10⁻³Pa
卧式尺寸
1100×1100×3600mm；
1100×800mm×2000mm
1100×1100×3600mm；
适用工艺
适用于半导体、光学、通讯等石英结构的脱羟工艺
适用材料
石英

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