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VERAL VH系列
石墨纯化炉
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公司名称：
VERAL VH系列 石墨纯化炉
VERAL VH Series Graphite Purification Furnace
高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，北方华创真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。
设备特点
多维进气氛，精确流量控制，可实现工艺气与保护气的独立/混合进气及定向进排气功能
反应室多孔分气结构，调节室内反应气体分布，保证纯化均匀性
技术指标
最高工作温度
2400℃
温度均匀性
±5℃
冷态真空度
10Pa
工艺气体
氩利昂、氩气
立式尺寸
Φ1000×H1000mm；Φ1400×H1200mm；Φ1600×H1700mm
适用工艺
纯化
适用材料
石墨
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