连续式石墨化炉 - 产品管理 - 北方华创

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CONAL VH1312O1

连续式石墨化炉

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CONAL VH1312O1 连续式石墨化炉

CONAL VH1312O1 Continuous Thermal Processing Equipment

设备适用于单晶炉热场材料的连续高温石墨化工艺，具有连续化处理能力，采用推舟式传输系统，实现24/7不间断生产，产能显著提升。拥有多温区稳定控制及动密封专利，多区独立温控模块可实现特定温度曲线，从而实现产品一次合格率高达100%。具有全流程自动化控制系统，依据实时情况记录，保障流程精准无误。

设备特点

技术指标

最高工作温度
2400℃
温度均匀性
±15℃
冷态真空度
10Pa
工作区有效尺寸
L1250×W1250×H1200mm
L1400×W1400×H1800mm
L1250×W1250×H1200mm
L1500×W1500×H1800mm
L1250×W1250×H1200mm
适用工艺
碳碳材料的高温石墨化工艺
适用材料
碳/碳

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