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MERI-M系列

卷绕磁控溅射设备

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MERI-M系列 卷绕磁控溅射设备
MERI-M Series Roll-to-roll Sputtering Equipment for Flexible Substrates
卷绕磁控溅射设备采用我司独创的“黑金鼓”技术，应用于锂电、氢燃料电池、固态电池、光电显示、特种包装、柔性电子等领域，可满足金属、非金属、氧化物等材料的磁控溅射工艺需求，已实现磁控溅射一步法镀厚膜技术。
设备特点
技术指标
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