光配向设备
Photo Alignment
- 设备特点
-
- 洁净度控制
- 工作台
- 平均曝光均匀度
- 设备定位精度
- Stage Rolling
- Stage Pitching
- Alignment精度
- 按HP lamp双灯配置，偏光波长域230nm～310nm
- 照度均匀度差值
- 消光比
- 加权平均偏光轴Mura
- 自动Lamp校正系统
- 测量系统与机台通讯，并且对机台的进行实时参数校正；
- 机台冷却系统
