采用碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料、IGBT及Super Junction等新结构制造的新一代功率器件，具有高速、低损耗的特点，在风电、光伏、有轨交通、调频调速等新兴产业上得到广泛应用。具有节能、节材、环保等效益，未来市场前景广阔。在功率器件领域，NAURA自主研发的薄膜/厚膜硅外延APCVD系统、刻蚀设备及金属溅射PVD已获得国内多家功率器件客户的认可和批量采购；为多条功率器件生产线提供清洗解决方案；先进的卧式扩散/氧化系统可以满足功率半导体领域特殊工艺的应用。