产品&服务 Products & services
功率器件 Power Devices
  采用碳化硅、氮化镓等宽禁带新材料、IGBT及Super Junction等新结构制造的新一代功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、有轨交通、调频调速等新兴产业上得到广泛应用。具有节能、节材、环保等效益,未来市场前景广阔。在功率器件领域,NAURA自主研发的薄膜/厚膜硅外延APCVD系统、刻蚀设备及金属溅射PVD已获得国内多家功率器件客户的认可和批量采购;为多条功率器件生产线提供清洗解决方案;先进的卧式扩散/氧化系统可以满足功率半导体领域特殊工艺的应用。
等离子刻蚀设备 Etcher
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
氧化扩散设备 Oxide/Diff
清洗设备 Cleaning Tool
辅助设备 Facility
气体测量控制 Gas Measuring Control