石墨纯化是在超高温状态下通入卤素气体（氯气或卤代烃）与石墨材料进行反应，使石墨中有价金属转变成熔沸点较低的气相或凝聚相的氯化物及络合物，最终与其它组分分离而逸出。石墨纯化后其纯度可达99.999%以上，可满足半导体行业要求，已被广泛应用于半导体晶体生长、外延、离子注入、等离子蚀刻等制造工艺中。为满足国内半导体、光伏单晶、新能源等领域对高纯石墨需求，北方华创自主研发了多款石墨纯化炉，产品涵盖了常用温区尺寸及进气方式，多种组合可以满足不同领域客户多样性的需求。