氢能正逐步成为中国乃至全球能源转型发展的重要载体之一，是实现双碳目标的重要抓手，是国家未来能源体系的重要组成部分。氢能领域在燃料电池和PEM制氢应用方向，都对关键部件双极板的导电耐腐蚀性能提出了很高的要求，尤其是金属双极板表面的涂层技术更是影响终端产品寿命和成本的重要影响因素之一。针对这一需求，北方华创自主研发单体式复合型PVD镀膜设备和立式连续型PVD镀膜设备，并分别应用这两种类型的设备进行了Ti/316L两种材质金属双极板表面涂层工艺开发，涂层的接触电阻和耐腐蚀性能均能满足行业标准。