产品&服务 Products & services
半导体照明 LED
  采用氮化镓基发光二极管作为光源的半导体照明技术,以其节能、高效、寿命长等优点被广泛应用于照明、大屏幕显示、指示灯、背光源等领域,其技术发展迅速、应用领域广泛、产业带动性强、节能潜力大,被公认为最有发展前景的高效照明产业。在LED领域,ICP刻蚀机自面市以来已经实现了两百台的销售突破,其中GaN刻蚀机新增市占率超过80%,成为行业标杆机型;自主开发的应用于LED制程的AlN缓冲层沉积设备,引领LED领域技术发展,凭借其优越的性能,成为客户最信赖的技术创新产品。
等离子刻蚀设备 Etcher
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
氧化扩散设备 Oxide/Diff
清洗设备 Cleaning Tool
辅助设备 Facility
气体测量控制 Gas Measuring Control