产品&服务 Products & services
集成电路 IC
  集成电路作为信息产业的基础及核心,是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业,已成为拉动电子工业迈向数字时代的强大引擎。国际上也以其技术水平作为衡量国家综合国力的重要标志之一。集成电路制造领域,NAURA厚积薄发,自主研发了国内首台应用于14nm先进制程的等离子硅刻蚀机,已正式进入客户生产线;应用于28nm制程的Hardmask PVD设备,已成为国内主流芯片代工厂的Baseline设备,并成功进入国际供应链体系,代表着国产集成电路工艺设备的最高水平;单片清洗机、立式氧化炉、单片退火系统、Al Pad PVD等设备也均进入主流代工厂,实现批量销售。
等离子刻蚀设备 Etcher
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
氧化扩散设备 Oxide/Diff
清洗设备 Cleaning Tool
辅助设备 Facility
气体测量控制 Gas Measuring Control