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气体测量控制 Gas Measuring Control
质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)属于一种工业自动化仪表,可以应用到对各种气体(含蒸汽)进行测量或控制,目前常用的有量热式、角动量式、振动陀螺式、马格努斯效应式和科里奥利力式等质量流量计,NAURA研制生产的是量热式质量流量计,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量,质量流量控制器(MFC)除测量外还可以精密控制气体的质量流量。MFM/MFC具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点,MFM/MFC可以在真空或高压气路中工作。它被广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。
集成电路 IC
光伏电池 Photovoltaic
先进封装 Advanced Packaging
科研设备 Scientific Equipment
微机电系统 MEMS
真空镀膜 Vacuum Coating
半导体照明 LED
分析仪器 Analysis Instrument
功率器件 Power Devices
节能环保 Energy Saving
平板显示 FPD
光通信器件 Optical Information Devices
燃料电池 FC
备品备件 Parts