半导体装备

移载传送设备

移载传送设备(Indexer)应用在平板显示领域,是用来承载Stocker传送过来的晶圆承载盒(CST),并对CST进行归正定位,通过机械手给设备输送或接受基板,以此协助制程设备完成基板的整个生产过程。   

北方华创开发的CVI玻璃对位索引机(CVI Indexer)设备采用合理的结构设计,拥有响应速度快的控制系统,从而保证系统具有良好的动态品质。设备的使用、操作、维修方便,且造型美观、结构紧凑,整机运行稳定可靠。

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