北方华创可提供的辅助设备包含：热回收系统、有机溶剂回收系统、离子微粒吸附设备、精密恒温恒湿机、PE系列 4/6英寸晶圆倒片机等产品。其中热回收系统、有机溶剂回收系统、离子微粒吸附设备、精密恒温恒湿机应用于平板显示领域，可有效节约客户能耗、提高工艺机台微环境洁净度、保障产线端的温湿度水平；PE系列 4/6英寸晶圆倒片机可为LED芯片制造企业的工艺机台提供自动上下片功能，可有效避免人工向工艺机台装载晶圆时出现的掉片、划伤、颗粒沾污等问题，提高LED产线产品良率，优化产品品质。