半导体装备 Semiconductor

TRU Series

热回收系统

联系咨询
TRU Series 热回收系统
TRU Series Thermal Recycling Unit
Oven设备是目前TFT产线耗电量较大的设备，Oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气（光刻胶升华物），大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的TRU设备可达到节能效果，同时也可实现客户端运营成本的下降。
设备特点
  • 结构设计合理，技术成熟，具有良好的动态品质
  • 压差变化小，系统稳定
  • 风量处理能力可根据客户要求设定调节
  • 降低客户oven 设备加热所需的耗电量，最大节电效率在65％以上
产品应用
  • 压差变化值
    0~20Pa
  • 排热量压力损耗
    不影响烘炉内部的气体平衡
  • 节电量
    ≥45±5KWH（ 2 Sets）
  • 适用领域
    平板显示、发电等领域的废热气回收及再利用
分享我们：
微信扫一扫
联系我们
官方公众号