ELEDE® G380A/G380D 芯片刻蚀机
ELEDE® G380A/G380D Etcher
- 设备特点
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- 满足多种材料刻蚀工艺应用，工艺窗口宽
- 单托盘放置9片4英寸/4片6英寸晶圆，实现高产能，同时确保良好的刻蚀均匀性
- 全路径全真空，全自动晶片传输，颗粒控制优
- 产品应用
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- 晶圆尺寸2、4、6 英寸及特殊尺寸
- 适用材料氮化镓、氧化硅/氧化钛、砷化镓、磷化镓、铝镓铟磷、氮化硅、钨化钛、有机物等
- 适用工艺电极、深槽隔离、DBR、红黄光、钝化层、金属阻挡层等刻蚀
- 适用领域半导体照明、Mini LED
