FDP Series 单体式复合型PVD镀膜设备
FDP Series Batch-Type PVD Coater
- 设备特点
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- 沉积源工位设计标准化，可通用互换，易实现多种组合
- 可实现离子预处理、磁控溅射、多弧离子镀等功能
- 优化的工件架设计，可适用各种类型的工件
- 技术指标
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- 腔体尺寸Ø700/800/900/1000/ 1200/1400mm
- 加热温度≤600℃
- 装载量40-50片（按500*180mm以内规格）
- 单炉时间90-120min
- 年产能氢能双极板≥12万片
- 产品系列
