真空装备 Vacuum Tech

GP120

石墨纯化炉

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GP120 石墨纯化炉
GP120 Graphite purification furnace
高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，北方华创真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。
设备特点
  • 稳定的超高温结构
  • 行业内较低的能耗控制技术
  • 完备的净化气体解决方案
  • 精准的气体与流场控制
技术指标
  • 工作温度
    2400℃
  • 工艺气体
    卤素气体
  • 温度均匀性
    ≤±5℃
  • 冷态极限真空度
    5Pa
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