半导体装备 Semiconductor

UVC Series

紫外线固化炉

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UVC Series 紫外线固化炉
UVC Series UV Cure
UVC系列紫外线固化炉外形紧凑,能对应G4.5~G10.5范围内的Panel规格,设备提供的UV照射光强充足均匀,能准确量化监控,并实现光路照度调节闭环控制,设备自动化程度高、可靠性高、固化效果良好,主要表现在搬运、对位精度高、节拍时间短、光照能量稳定。
设备特点
  • 结构设计合理,技术成熟,具有良好的动态品质
  • 基台适应整线节拍,自动快速升降,精确平动和转动
  • UV 照射均匀,并能准确量化监控
  • 可配置多规格工作台
产品应用
  • 面板尺寸
    适应G4.5 ~ G10.5 面板产线的Panel 规格
  • 平均辐照均匀度
    ≤15%
  • 适用领域
    TFT-LCD 生产过程中Panel 边框胶的快速固化
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