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北方华创12吋单片退火设备成功进入28纳米生产线
发布时间:2017-02-21

2017新年伊始,北方华创全资子公司北方华创微电子自主研发的Booster A630单片退火设备,成为首台搬入上海华力微电子二厂的高端电子工艺装备,用于28纳米工艺制程。

Booster A630设备,应用于集成电路后段制程中硅片表面清洁处理、K值恢复等工艺。目前,该产品凭借工艺温度均匀性高、颗粒控制力强、处理时间短、单位产能大等特点,获得了客户的良好评价。

Booster A630设备自推出以来,先后进入中芯国际(上海)、中芯国际(北京)、华力微电子等国内主流集成电路制造厂商生产线,参与验证及生产,累计流片数量逾60万片,积累了良好的技术指标和稳定的运行记录,已成为公司量产机台。未来北方华创将积极谋求与更多客户合作的机会,把握产业发展的契机。


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