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北方华创刻蚀机作为首批设备搬入燕东微电子8吋生产线
发布时间:2019-07-03
  2019年6月25日,燕东微电子8吋生产线建设项目现场举行了首批设备搬入仪式,北方华创8英寸NMC508C刻蚀机作为首批设备在仪式上搬入厂房。此举标志着燕东8吋线项目从建设期向生产运营期迈出重要一步,为年底出产2万片晶圆打下了坚实基础。



  电控公司党委书记、董事长王岩,电控公司副总经理、燕东公司董事长谢小明,电控公司副总经理潘金峰,北方华创集团副董事长耿锦启和总裁赵晋荣,燕东公司总经理淮永进,党委书记王海鹏等燕东公司领导班子成员及燕东科技领导班子成员出席仪式。仪式由燕东科技公司总经理吴晓明主持。



  除首台搬入的等离子硅刻蚀机外,北方华创即将搬入的设备,还包含多晶硅刻蚀机、金属刻蚀机、深硅刻蚀机、磁控溅射PVD、高温扩散炉、中温氧化炉、湿法清洗机、湿法去胶机等设备。


  燕东微电子8吋线项目将是北京首条大规模量产8英寸的集成电路产线,主要生产8英寸线宽达0.13μm集成电路芯片及其封装后的产品,预计量产后月产能可达到5万片。同时,项目通过与国际顶尖驱动电路、功率器件厂商合作,将建成国内技术最先进的特色工艺产线。



  北方华创致力于帮助客户提升工艺性能、增大产能、降低生产成本,为集成电路领域客户提供更高效的装备及工艺解决方案。

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