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北方华创和SEMICON China有个约会
发布时间:2020-06-29
  6月27日,由SEMI主办的SEMICON China 2020国际半导体展作为上海会展行业复苏后的首展正式开幕。北方华创六大类产品全出发,携手赴约本届展会。



  作为国内半导体高端装备制造企业,北方华创以新颖的布展方式,给观众们带来了不同的参观体验,吸引了专业观众们驻足合影。


(疫情也无法阻挡观众们的热情)


(北京亦庄管委会梁胜主任等领导莅临北方华创展台)

  ABOUT NAURA PRODUCTS

  在集成电路制造领域,针对Logic、DRAM、3D NAND、3D IC等不同的芯片技术,NAURA可提供等离子硅刻蚀机、等离子金属刻蚀机、PVD、CVD、ALD、炉管和清洗等设备,并均已在主流芯片工厂量产。自成立以来,北方华创多款产品逐步被领军集成电路芯片制造企业指定为Baseline机台,广泛地获得了客户和市场的认可。
   在先进封装领域,针对Flip chip bumping、Fan-out、 WLCSP、TSV等技术,NAURA为客户量身打造的刻蚀设备、薄膜沉积设备、炉管设备等已经实现了在主流先进封装企业的批量生产,并不断获得客户的重复采购订单。
  在半导体照明领域,NAURA的ICP刻蚀机、PECVD、Sputter等均为当前市场占有率超卓的行业标杆产品,可应用于新一代Mini LED和Micro LED制程。NAURA在LED领域持续研发,凭借优越的产品性能以及创新的技术理念,致力于成为客户信赖的设备解决方案提供商。
  在功率半导体领域,NAURA自主研发的单/多片式硅外延设备、卧式氧化/扩散炉、刻蚀机、金属PVD 设备以及槽式清洗机已获得多家功率器件客户的认可和批量采购,为多条功率器件生产线提供解决方案。
  在化合物半导体领域,NAURA可提供化合物半导体刻蚀机、PECVD、槽式清洗机和卧式氧化/扩散炉,为客户提供全面的工艺解决方案。
  在衬底材料领域,NAURA可以提供6-12寸硅外延系统、清洗机、氧化退火炉、碳化硅单晶生长炉、碳化硅退火炉等,为客户提供专业的工艺解决方案。
  在硅基OLED领域,NAURA自主研发的等离子刻蚀机、PVD、清洗机和立式氧化/退火炉,能够为客户提供专业的设备和工艺解决方案。
  在光伏电池制造领域,NAURA开启了低压扩散炉在高效光伏电池中的应用,其卧式氧化扩散炉、PECVD、LPCVD等设备应用广泛。
  在平板显示领域,NAURA自主研发的Grind Cleaner开启了国产化设备的应用,实现了在G10.5、G8.5、G6、G5.5、G5、G4.5、G2.5世代TFT-LCD生产线上批量应用;此外,CELL段ODF工艺的紫外固化炉UV Cure及Cutting工艺的Grind Cleaner等设备均在市场上占据重要份额。针对平板显示行业高能耗的问题,NAURA还开发了一系列节能环保设备,对生产过程中产生的废气、废液进行回收再利用,为客户节约成本。
  此外,北方华创在气体流量测量和控制方面拥有多项关键技术,MFC产品远销欧美,是中国流量计品牌的佼佼者。其CS系列数字MFC产品的技术指标满足高端装备使用要求,已经广泛应用于半导体、光伏太阳能、真空镀膜、TFT等行业生产线,累积销售量超过30万台。
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