SRU系统主要用于面板涂布工艺中的有机溶剂回收，SRU有机溶剂自动回收系统回收并纯化COATER VCD抽取的废气，将冷凝回收来的液态PGMEA溶剂重新使用在涂布机喷头的清洗过程中，有效的回收再利用原本弃置不用的废液。该系统与厂务上下游设备完美对接，高效率回收并纯化上游设备排出的废液并将其供给下游设备进行工艺作业。该系统具备供液功能、排废液功能、液体取样功能和废渣采集等功能。
