半导体装备 Semiconductor

TCU Series

精密恒温恒湿机

联系咨询
TCU Series 精密恒温恒湿机
TCU Series Thermal Control Unit
TCU 精密恒温恒湿机在基板曝光前可保持基板表面曝光前温度的均匀性。TCU为一精密温度控制设备，空气经由TCU处理后，温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，此设备可满足制程环境更精准的温控需求，确保产线环境的稳定性及产品的良率。
设备特点
  • 精密温湿度控制，确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率
  • 可根据客户需求风量定制，送风单元结构均匀布置
  • 温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，确保产线环境的稳定性及产品的良率
产品应用
  • 温度控制精度
    ±0.1℃~±0.01℃
  • 湿度控制精度
    ±2%RH~±1%RH
  • 适用领域
    主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制
分享我们：
微信扫一扫
相关产品
SRU Series

有机溶剂回收系统
联系我们
官方公众号